這類伺服系統的位置檢測點是從驅動電機（常用交直流伺服電機）或絲杠端引出，通過檢測電機和絲杠旋轉角度來間接檢測工作臺的位移量，而不是直接檢測工作臺的實際位置。由于在半閉環環路內不包括或只包括少量機械傳動環節，因此可獲得穩定的控制性能，其系統的穩定性雖不如開環系統，但比閉環要好。另外，由于在位置環內各組成環節的誤差可得到某種程度的糾正，而位置環外的各環節如絲杠的螺距誤差、齒輪間隙引起的運動誤差均難以消除。因此，其精度比開環要好，比閉環要差。但可對這類誤差進行補償，因而仍可獲得滿意的精度。半閉環數控系統結構簡單、調試方便、精度也較高，因而在現代CNC機床中得到了廣泛應用。