與此同理,當工作油引入噴口時,馬達抽將沿箭頭的方向反轉。改變斜盤的傾角時,馬達軸每轉的輸出流量就發生變化。反之,如果讓這種液壓馬達哈默納科激光設備伺服電機SHA-32A-81SG-B12A提供一定的輸出流量,通過改變斜盤傾角就會使馬達軸的轉速發生變化。與其他液壓馬達相比較,這種馬達傳遞效率高,轉動安靜平穩,體積小,能產生大功率,正因為具有這些優點,它哈默納科激光設備伺服電機SHA-32A-81SG-B12A多數被用于要求高速和高精度的伺服機構中。
液壓式何服機構雖然具有大功率、低速下的平滑性等其他機兩所不具備的優點,但在過去并未象電氣或伺服機構那樣應用普遍,因為它除了需要油源和油漏泄產生污染等缺點外,其愉入還受到機械位移的限制,不能和現代電氣測量控制儀表直接結合。可是,自從發明了伺服閥(1950年)以來,這個缺點便得到了解決。
伺服闊是一種電氣一液壓轉換器,可以用數毫瓦的微小電功率直接精確地控制數馬力的油能。伺服閥和油缸、油馬達結合起來的電氣液壓式伺服機構,體積可以小型化,在高速、高功率、高精度等方面都超過了電氣式伺服機構。
伺服閥哈默納科激光設備伺服電機SHA-32A-81SG-B12A有電氣輸入驅動的力矩馬達直接推動滑閥的一級放大式和將力矩馬達的運動轉換為液壓,經放大后來推動滑閥的二級放大式以及用大流量控制為目的再加上一級滑閥的 三級放大式。一般二級放大式使用得較多。二級放大式的典型結構由下列部分組成:由輸入電流使液壓放大部分的擋板發生位移的力矩馬達;由于擋板發生位移在滑閥兩端面產生了壓差的液壓前級放大裝置;噴嘴擋板;與滑閥位移成比例控制流量的滑閥(參照資料)。